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| NIR-GFP 1400は従来の可視光を光源とした光弾圧システムでは計測が難しかったシリコンなどの半導体のチップやウェハーの残留応力の分布を赤外線を光源として自動的に計測するシステムです。 |
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主な仕様
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| 計測エリア |
20×20mm（オプションにて300Φ） |
| ひずみ分解能 |
20με |
| 空間分解能 |
512×480 |
| 電源 |
AC100V |
| カメラ |
| ディテクター |
モノクロ/CCD |
| 寸法（H×W×D） |
280×100×100mm |
| 重量 |
約1.5Kg |
| イルミネーター |
| 寸法（H×W×D） |
150×100×100mm |
| 重量 |
約0.7Kg |
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