
Stereo Microscopeは、光学系を顕微鏡としてシステムアップしたVIC-3D(VIC-2Dも対応可能)システムになります。数百µmエリアの様な非常に小さいエリアを対象としており、従来システムでは計測不可能であった変位やひずみが計測可能になりました。専用のキャリブレーションターゲットがオプションとして用意されております。
技術背景
従来、マイクロスケールの3D DIC計測は高倍率が要求される被計測物では困難でした。この主な要因は異なる視野から2つの高倍率画像を取得するのに十分な被写界深度を得ることが出来ない為でした。実体顕微鏡とのシステムアップで被写界深度を得ることは可能ですが、同一の対物レンズとミラーを使用する複雑な光学系は、従来のキャリブレーション方法では考慮されないひずみをもたらしてしまい、変位とひずみの測定データに大きく影響を及ぼしてしまいます。
Correlated Solutions社では上記ひずみを補正する特許取得済みのアルゴリズムを開発し、光学ひずみを除去することが可能になりました。また、電動3軸精密ステージを用いたワークフローの自動化により、キャリブレーションプロセスの簡素化も提供出来るようになりました。
Correlated Solutions社では上記ひずみを補正する特許取得済みのアルゴリズムを開発し、光学ひずみを除去することが可能になりました。また、電動3軸精密ステージを用いたワークフローの自動化により、キャリブレーションプロセスの簡素化も提供出来るようになりました。
ひずみ補正前後の剛性プレートにおける水平変位成分と3D形状の比較
コンデンサチップ実装時のひずみ
はんだの小規模ひずみ
ICチップの熱膨張計測
基板実装内部における樹脂とはんだ界面の熱ひずみ測定
加熱ステージで温度を25℃→-80℃→25℃と変化させた際の基板内部における熱ひずみをDIC解析
基板実装内部の熱ひずみ測定
加熱ステージで温度を25℃→-80℃→25℃と変化させた際の基板内部における熱ひずみをDIC解析
冷却過程において、はんだボール界面近傍にXひずみ(引張&圧縮)が部分的に発生し、Yひずみは大きな圧縮ひずみが発生
主な仕様
| 解像度 | 5M Pixelカメラ:2,448 x 2,048 pixell |
|---|---|
| フレームレート | 〜30fps |
| 計測精度 | 変位:面内方向が1/50〜1/100 pixel、ひずみ:100μst〜 |
| 光学倍率 | 0.5〜23倍 |
| 計測範囲 | 0.7mm〜数mmエリア |
| 読み込み可能ファイル | TIFF/BMP |
| 推奨PCスペック | メモリ32GB、内蔵SSDストレージ |
| 解析データ内容 | 変位、ひずみ、応力、速度、加速度、他 |
