GFP2600 NIR/SWIR リアルタイム光弾性応力解析（PSA）システムは、シリコンウェハやシリコン被覆ガラス、多くのセラミックスなど、NIR/SWIR透過性材料を通して応力を瞬時に測定します。このシステムには、NIR/SWIR円偏光照明装置と解析カメラが含まれています。カメラはエリアビュー（視野範囲）またはストリップビューを提供するように設定可能で、ストリップデータをつなぎ合わせて非常に大きな画像を生成できます。
カメラは固定焦点タイプですが、近距離に焦点を合わせて結合ウェハ間に閉じ込められた粒子のような小さな欠陥を検出したり、遠距離に焦点を合わせてウェハ全体を検査したりできます。同様に、シリコン被覆ガラスの場合、エッジの応力を近接して検査したり、ガラス全幅を遠距離から検査したりすることができます。特定のカメラ（NIR：750–1000nm または SWIR：1000–1700nm）は、バンドパスフィルターと組み合わせて、特定の材料や用途に最適化されます。