|
|
|
|
|
|
| NIR-GFPは、従来の可視光を光源とした光弾圧システムでは計測が難しかった、シリコンなどの半導体のチップやウェハーの残留応力の分布を赤外線を光源として自動的に計測するシステムです。 |
|
|
|
| 測定レンジ |
1/2λ |
| 繰り返し精度 |
2％ |
| 精度 |
0-10nm ±0.5nm
0-100nm ±0.5nm
100-range ±5％ |
|
|
| フレームレート |
10f/s |
| 分解能 |
カメラ依存 |
| 焦点距離 |
20mm、30mm固定 |
| カメラインターフェイス |
GigE |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Copyright(c) LASER MEASUREMENT Co.,Ltd. Allright resersved.
|
|
|
